PGMEA除去の課題と解決策｜半導体レジスト工程の安全対策

半導体のレジスト工程で使うPGMEA（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）は、レジストの溶剤としても、装置まわりの洗浄液としても使われます。塗布、現像後のリンス、ノズルやカップの清掃まで、1日の多くの場面で出番があります。

この物質に、2026年10月1日から8時間濃度基準値50ppmが適用されました。これまで管理濃度も許容濃度も設定されていなかったため、社内の基準づくりから始める現場も出てきています。

ここでは、クリーンルームの気流を変えずに、PGMEAの蒸気を発生源で除去する方法を整理します。

PGMEAに設定された濃度基準値と、乾いたあとも続く発生

PGMEAは、労働安全衛生規則にもとづく濃度基準値の対象になりました。告示上の名称は「酢酸1-メトキシ-2-プロピル」、8時間濃度基準値は50ppmで、2026年10月1日施行です。

一方で、作業環境測定の目安になる管理濃度は設定されていません。日本産業衛生学会とACGIHの許容濃度も未設定です。判断の物差しが濃度基準値ひとつしかない状態で、ばく露を抑える義務だけが生じています。

引火点は42℃で、消防法の第4類第二石油類にあたります。クリーンルームでは常温での保管と小分けが中心ですが、ヒーターや装置の発熱部が近い場所では条件が変わります。

沸点は145.8℃と高く、こぼれてもすぐには乾きません。拭き取ったウエス、使い終わった治具、廃液容器の口から、作業が終わったあとも蒸気が出続けます。

レジスト工程で聞こえてくるのは、装置の排気ではなく、装置を開けたあとの話です。

いずれも、装置の排気能力ではなく、人が装置を開けている時間に原因があります。

コーターやデベロッパーには排気が付いていて、運転中の蒸気は装置の中で処理されます。守られているのは、フタが閉まって運転している状態です。

カップの清掃、ノズルの交換、レジスト瓶の入れ替えは、装置を開けて人が手を入れて行います。排気の対象から外れた状態で、PGMEAを含ませたウエスを手に持つ時間が続きます。

沸点145.8℃という性質は、作業中に急激に蒸発しない点では扱いやすさにつながります。その一方で、拭き取った面や使用済みのウエスに残り続けるということでもあります。

廃液容器やウエス入れをその場に置いたままにすると、作業が終わったあとも蒸気が出ます。8時間の平均で管理する濃度基準値では、この時間も計算に入ります。

クリーンルームは、天井から床へ流れる気流と室内の陽圧で清浄度を保っています。局所排気装置を足して排気量を増やすと、この気流と圧力のバランスが変わります。

清浄度の再検証と空調設備の見直しが必要になるため、「蒸気が出る場所にフードを1つ足す」という話では収まりません。

工程	いま行われている対策	課題
レジスト塗布（スピンコート）	装置内の排気、カップの密閉	カップやノズルの清掃で装置を開けると排気の外に出る
現像・リンス	装置内の排気、作業時間の管理	廃液容器の口を開ける時間が作業によってばらつく
装置の保守・部材交換	保護具、作業手順書	作業位置が装置ごとに変わり、固定した設備で追えない
ウエス・廃液の一時保管	フタ付き容器、こまめな回収	乾きにくいため、置いてある間も蒸気が出続ける
クリーンルーム全体	天井からの一方向気流、全体換気	排気量を増やすと清浄度と陽圧の再検証が必要になる