熊本県にある半導体ウエハメーカー様において、アンモニア水ボトル交換作業時に発生するアンモニアの漏えい・悪臭という現場課題に対し、TOGAの移動型有害ガス浄化装置「TOGA-M01D」とアンモニア対応フィルターを用いたデモテストを実施しました。

このテストでは、装置稼働によるアンモニア濃度の低減および臭気軽減の効果を測定し、実際の作業環境において安全・快適な作業場づくりにどの程度貢献できるかを検証しました。

実施概要

実施日2025年9月30日
業種・場所熊本県/半導体ウエハメーカー様
対象装置・モデルTOGA 有害ガス浄化装置 モデル TOGA-M01D
フィルター仕様アンモニア対応フィルター(TOGA®フィルター)
作業内容アンモニア水ボトル交換作業時に発生が懸念されるアンモニアの漏えい・悪臭を対象とした対策を実施。

テスト結果

吸入口

2 ppm
(ピーク時50 ppm)

排気口

1 ppm以下

※ボトル開栓時には検知管で振り切る数値(500 ppm以上)を確認。

結果として、TOGAフィルターの稼働により アンモニアの除去が明確に確認されました。

導入による効果

このテストにより、以下のような効果が得られました。

  • 作業場周辺におけるアンモニア臭の大幅な軽減
  • 検知管による数値測定でも、アンモニアの除去が確認でき、数値的裏付けあり
  • 作業者様の安心・安全な作業環境構築に寄与できるという実感あり

コメント・考察

弊社の有害ガス浄化装置は、スポットで発生するガス・臭気を対象に、移動型・設置型ともに様々な分野で採用実績があります。

本事例では、アンモニア水のボトル交換時というガス漏えい・悪臭のリスクが高い局面に対して、デモテストとして実施しました。こうした実環境での「目に見える効果」のデータは、導入を検討されるお客様にとって安心材料になると考えております。

まとめと今後への展望

今回のテストを通じて、アンモニアの濃度抑制および臭気低減の観点で、TOGA-M01DおよびTOGAフィルターが 有効であることが確認できました。

TOGA製品は「ダクトレス設計」や「移動設置可能」といった導入負荷を抑えた設計である点も大きな強みです。

今後も、作業者様の安全・快適な作業環境の構築に向けて、TOGAフィルターが貴社のお役に立てれば幸いです。

この度はご用命を賜り、誠にありがとうございました。

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